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气浮平台系列
高机能直驱气浮平台,占有高动态机能与纳米级定位精度。通过直线电机驱动,结合正负压设计,有效应对大体积负载在气浮导轨上的重力不均匀分部,能够更好地保障空气导轨的正常气隙
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产品特点
定造化需要
可凭据客户需要进行评估定造
气浮直驱
利用空气弹性势能作为支持导轨,实现滑轨与滑台零摩擦、削减误差
高精度定位
具备极度优良的动态机能、定位精度、速度不变性和高分辨率
利用领域
大型光学透镜检测、半导体领域的晶圆缺点检测、精密造作和封装、丈量检测、生物样片加工及观测、同步加快钻延注精密造作、光学对
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直为高精度定位平台产品
3.34
2022-11-01
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